金融界2024年12月19日音信,国度学问产权局新闻显示,北京华丞电子有限公司申请一项名为“一种射频电源的驱动安装、射频电源、半导体工艺设置”的专利,公然号 CN 119135100 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本创造执行例供给了一种射频电源的驱动安装、射频电源、半导体工艺设置;包含射频驱动信号输入模块输出射频驱动信号;门级驱动放大模块输入端与射频驱动信号输入模块输出端连结,对射频驱动信号举办低级放大;可控选频收集模块输入端与门级驱动放大模块输出端连结,选通与所述目的频率配合的射频驱动信号;阻抗变换模块输入端与可控选频收集模块输出端连结;二级驱动放大模块,其输入端与阻抗变换模块输出端连结,对低级放大后的射频驱动信号举办二次放大,输出射频功率;阻抗变换模块对门级驱动放大模块和二级驱动放大模块举办阻抗配合;本创造执行例通过可控选频收集模块选通指定频率的射频驱动信号;使得驱动安装复用差异主频率的射频电源。